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更新日期：2024-03-23
簡要描述：
yutaka半導體制造用壓力控制設備L12系列L12 系列是按照 1.25“ SEMI 標準設計的壓力調節(jié)器。
| 品牌 | 其他品牌 |
|---|
yutaka半導體制造用壓力控制設備L12系列
功能
低壓1MPa以下
焊接規(guī)范金屬墊片
配件集成規(guī)格
調節(jié)閥結構
針型
兼容氣體
7類特殊高壓氣體腐蝕性氣體，有毒氣體
除外
標準流量
~60噸/分鐘
yutaka半導體制造用壓力控制設備L12系列
特點
| 入口壓力 | 最大0.99MPa |
| 調節(jié)壓力（L12?L12H） | 最大0.7MPa（量程規(guī)格0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.7MPa ） |
| 調節(jié)壓力（L12V） | 量程規(guī)格 -0.08~0.1MPa， -0.08~0.2MPa |
| 耐壓壓力 | 1.5MPa （入口側） |
| 簡歷值 | 0.1 |
| 工作溫度 | -10~+40°C |
| 外部泄漏 | 1×10-11Pa?m3/秒?He （真空方式） |
| 質量 | 約 270g（1.125“ SEMI 規(guī)格） |
L12 系列是按照 1.25“ SEMI 標準設計的壓力調節(jié)器。
與集成供氣系統(tǒng)的 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 和 C 密封件兼容。
還提供高流量和真空規(guī)格以及端面密封接頭類型。
